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准分子激光成像系统的研究

杜国军  付利平  王咏梅  王继红  杨松  王英鉴  
【摘要】:针对微加工系统要求高分辨率的成像系统的特点,采用折射型系统,利用最小二乘法,校正球差、彗差和畸变,设计一个缩小倍率15:1的投影成像物镜,满足了掩模投影成像加工系统的要求。

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