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全干掩模法制备尺寸可控的双极性石墨烯纳米带晶体管

赵鹏飞  汤庆鑫  童艳红  刘益春  
【摘要】:传统的石墨烯纳米带场效应晶体管在剥离纳米带和器件制备过程中都涉及湿处理。于是我们提出了一种简单、新颖的无溶液法制备石墨烯纳米带及其场效应晶体管,我们分别采用金膜和SnO_2纳米带作为掩膜来沉积电极和制备石墨烯纳米带,并通过金膜和SnO_2纳米带尺寸来控制沟道长、宽。在大气环境中,宽度为330nm的石墨烯纳米线表现出明显的双极性特性,空穴和电子的迁移率高达904和703cm~2V~(-1)s~(-1)。我们将上述结果归功于全干法制备石墨烯纳米带及其器件。

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