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改变电浆功率提升二氧化钛薄膜光触媒特性应用于可挠式

胡振宇  陳肇和  張淑美  莊賦祥  余濟美  洪鵬翔  陳冠志  朱維屏  
【摘要】:正本研究以电浆激发化学气相沉积(PECVD)法沉积二氧化钛薄膜,利用氩气(100 sccm)输送四异丙基钛酸酯(Ti(OC_3H_7)_4)之蒸气,以氧气(15 sccm)当电浆激发气体产生反应,沉积二氧化钛觸媒薄膜于玻璃)基板上,,主要改变不同电浆电源功率(200~300 W),以提升光触媒薄膜特性,接著利用高温退火炉进后续退火处理(氧气气氛下退火500度30分钟),退火完成后利用XRD量测薄膜之结晶性,接著利用UV LED模组进行亚甲蓝基液降解实验,并分析不同

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