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利用纳米球光刻制备大面积有序的纳米孔阵列

余洁  严清峰  沈光球  王晓青  沈德忠  
【摘要】:正大面积有序纳米结构具有独特的光学和电学性质,在太阳能电池、光子晶体、高密度磁存储等领域都有潜在应用前景,因而近年来受到广泛关注。纳米球光刻技术是以二维胶体晶体作掩膜制备有序微纳米结构的一种简单、快捷、成本低、产出高的技术。本文利用聚苯乙烯(PS)胶体晶体作为微透镜阵列在光刻胶上制备大面积有序的纳米孔阵列。通过改变曝光时间和显影时间,可以精确地控制纳米孔的尺寸。而选择不

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