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纳米球刻蚀胶体模板的热改性研究

耿翀  严清峰  沈光球  王晓青  沈德忠  
【摘要】:正纳米球刻蚀是一种利用化学自组装胶体晶体单层作为掩膜的一种低成本且快速制备有序纳米结构的技术,在微纳米加工中备受关注。本文介绍了一种调节聚合物纳米微球间隙的方法。利用扫描电镜(SEM)对聚

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