【摘要】:正要实现Cu在刻槽中的超等角填充,促进剂如3-巯基-1-丙烷磺酸钠(MPS)、抑制剂如聚乙二醇(PEG)和氯离子(Clˉ)是必要的添加剂,研究它们协同作用下对Cu电结晶的影响具有重要意
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