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李云峰张俊虎朱守俊贾菲王占华杨柏  
【摘要】:正利用二维的聚苯乙烯胶体晶体作为模板,结合金属催化湿法刻蚀硅的方法制备了单晶硅的中空纳米柱阵列,再通过氟反应性离子刻蚀得到了高长径比的单晶硅中空纳米锥阵列。制备的纳米锥阵列具有与蛾眼角膜上的乳突状阵列相似的结构。众所周知,蛾眼角膜上的乳突


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