静电力显微镜测量材料纳米微区电学性质的研究
【摘要】:正对纳米材料的电学性质表征是材料物理化学中非常重要的一个方面。静电力显微镜(EFM)是研究纳米晶体,纳米线等纳米材料的电学和力学性质的一种强有力工具,例如样品表面电荷分布,纳米器件的电场和电势分布,铁电相转变特性,介电常数等电学性质,这对器件失效分析、探测氧化物薄膜中的局域积累电荷、定量分析器件中结界面的静电势分布等有重要的意义,也对开发新功能的纳米材料有很大的指导意义。为了探索实现纳米结构以及器件薄膜微区电学特性的定量化测量,我们发展了基于EFM技术的相位灵敏检测技术,实现了针尖特征电容的,材料表面介电常数测
【相似文献】 | ||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|