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激光作用下硅靶材的等离子体谱研究

刘丽炜  蔡红星  李昌立  张喜和  郑峰  
【摘要】:建立一套激光等离子体光谱测量实验装置,以Nd:YAG调Q倍频固体激光器为激发光源,硅作为样品。获得了不同激光能量时的硅样品原子辐射谱图,从中提取硅在634 nm处的等离子体谱,分析等离子体谱强度的变化趋势,得到的实验结果与理论分析符合的很好。

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