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基于胶体刻蚀的异质纳米图案化

张刚  汪大洋  杨柏  
【摘要】:正许多现代技术发展的机会都来源于新型微观结构的成功构造和集成,在微观和介观范围内对材料表面结构和性质的微加工或图案化在当代科学和技术相关领域逐渐受到越来越多的关注.图案化技术为在微米和纳米尺度上所发生的物理、化学和生物现象的研究提供了契机,同时也促进了不同学科间

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