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压电驱动微阀与微泵集成结构的设计与分析

耿照新崔大付王海宁刘长春陈兴

【摘要】：设计出用PDMS作为泵膜的压电驱动集成微阀与微泵。具有结构简单、易于加工、操作方便的特点,给出几何参数、工作的原理和工艺流程。

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3	耿鑫;侯丽雅;杨眉;王洪成;章维一;;微流体数字化技术制备基因芯片微阵列[J];光学精密工程;2011年06期
4	刘相果;胡东霞;胡吉海;冯小东;;大尺寸厚膜压电陶瓷驱动变形镜的制备工艺研究[J];压电与声光;2011年04期
5	陈波;晁侃;吴健康;;三维交流电渗流泵的流量增强效果[J];微纳电子技术;2011年08期
6	;[J];;年期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	徐加山;郭涛;孙宏明;郭航;;一种压电微驱动器的ANSYS仿真研究[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
2	耿照新;崔大付;王海宁;刘长春;陈兴;;压电驱动微阀与微泵集成结构的设计与分析[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
3	王国辉;周兆英;袁松梅;刘长庚;;压电驱动微喷雾粒特性的理论和实验分析[A];第三次全国会员代表大会暨学术会议论文集[C];2002年
4	关艳霞;戴敬;方肇伦;;PDMS气动微泵的研究[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
5	王海宁;崔大付;耿兆新;刘长春;陈兴;;一种无阀压电微泵的研究[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
6	方华军;刘理天;任天令;;硅基PZT压电驱动扫描微镜的设计与优化[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
7	鄢珂;胡敏强;金龙;徐志科;;叠层型压电驱动器的应用研究[A];第十二届中国小电机技术研讨会论文集[C];2007年
8	朱晓锦;曹浩;陆美玉;邵勇;;基于柔性结构振动主动控制的压电驱动功率放大器开发[A];中国仪器仪表学会2007年学术年会、全国仪器仪表教育学术年会论文集[C];2007年
9	杨垂柏;梁金宝;王世金;;地球同步轨道卫星表面电位探测一类方法初探[A];中国空间科学学会空间探测专业委员会第十九次学术会议论文集（上册）[C];2006年
10	栗大超;吴文刚;闫桂珍;傅星;郝一龙;胡小唐;;硅微机械扭转微镜的研究进展[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

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1	范尊强;新型压电送料器的研究[D];吉林大学;2008年
2	姜斌;超声波送料机理与关键技术研究[D];吉林大学;2009年
3	沈传亮;压电型直动式电液伺服阀的基本理论与实验研究[D];吉林大学;2006年
4	耿照新;基于MEMS技术的微阀和微泵的设计与研制[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2007年
5	刘爽;锆钛酸铅（PZT）陶瓷材料相关技术与应用研究[D];中国科学技术大学;2009年
6	贾宏光;基于变比模型的压电驱动微位移工作台控制方法研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
7	罗振兵;合成射流/合成双射流机理及其在射流矢量控制和微泵中的应用研究[D];国防科学技术大学;2006年
8	杨增涛;新型压电器件的力电耦合分析与结构设计[D];中南大学;2009年
9	刘国君;迭片式系列微型压电泵的设计理论及实验研究[D];吉林大学;2006年
10	王蔚;MEMS兼容压电厚膜驱动技术[D];哈尔滨工业大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

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1	程华旸;激光冲击波致动微泵的设计建模与研制[D];华中科技大学;2011年
2	徐杰;压电驱动低压水压换向阀的研究[D];大连海事大学;2010年
3	齐爽;压电驱动型数控铣削精密补偿单元结构设计与分析研究[D];吉林大学;2011年
4	吴佳杰;基于压电驱动的多自由度微操纵平台及其测控技术的研究[D];浙江大学;2011年
5	蔡秀梅;空间分布压电驱动的多自由度微定位工作台位姿控制模型与实验研究[D];重庆大学;2002年
6	徐自华;压电叠堆泵的理论和试验研究[D];吉林大学;2007年
7	黄琴;压电驱动技术测试技术与方法研究[D];吉林大学;2007年
8	罗佳;毛细力梯度表面上蒸发驱动的微流动实验研究[D];华北电力大学（北京）;2010年
9	赵海波;水热合成法制备PZT压电薄膜的研究[D];大连理工大学;2006年
10	马宁;形状记忆合金驱动微泵的研究[D];黑龙江大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

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1	赵建梅;行政须依法[N];中国工商报;2000年
2	沈阳高新区王铁陶维彬;蓄势待发的沈阳高新区IT业[N];中国高新技术产业导报;2002年
3	本报记者王虹;微型机械于微细处见神奇[N];中国机电日报;2001年
4	李朝华王大全;四川明确“十五”农村水利工作重点[N];中国水利报;2001年
5	本报记者任芳;四川农田水利：何时丰水又沃田？[N];经济日报;2000年
6	记者范南虹　实习生王欣怡;桂粤琼在海口交流地贫防治[N];海南日报;2009年
7	新初柏槐张果;我省农机科技下乡启动[N];湖南科技报;2009年

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