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基于一个H+SiH_4全维势能面的动力学分析

王满辉  孙孝敏  边文生  
【摘要】:正H和SiH4的反应SiH4+H→SiH3+H2在大气化学和半导体工业化学蒸汽沉淀过程中扮演重要的角色。在近30年以来,人们对这一反应进行了一些实验和理论研究。早在1978年,Arther等人就测定了294-487k下速率常数随温度变化的关系,在1993

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