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PMMA基微流控芯片的准分子激光制备方法研究

姚李英  张瑜  刘保安  陈涛  刘世炳  左铁钏  
【摘要】:采用准分子激光微加工技术在PMMA表面加工出了微混合器芯片.实验结果表明,采用准分子激光微加工技术可以加工出尺寸基本符合要求的、连续的、表面光洁度高和边界整齐的微通道,可以加工出结构复杂的微流控芯片.

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