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单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计

黄晓东  张筱朵  王斌  秦明  黄庆安  
【摘要】:介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响。使用 Pspice 对接口电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数。最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80~110 kPa 量程内,接口电路的分辨率为3.77 Hz/hPa。

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