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一种新型谐振式微加速度计设计和分析

何高法  唐一科  何晓平  刘世明  
【摘要】:为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和 DETF 谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56 Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论。

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