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角速率微陀螺仪ADXRS401的原理与接口电路设计

杨东升  李邦元  王奇  
【摘要】:ADXRS系列角速率微陀螺仪是ADI公司基于MEMS技术的微系统,它采用完全集成的结构,将微电子机械系统与全部信号调理电路都集成到一块单片集成电路(IC)上,为陀螺仪的发展提供了新的技术平台和方法学,已取得重要的应用范例。文中以ADXRS401为例,介绍了其基本原理,性能特定,重点给出了其接口电路设计方法。

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