收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入研究

李刘合  朱剑豪  
【摘要】:本文提出了一种新型的等离子体基离子注入方法——电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入,介绍了该方法的基本结构,并计算了该方法电场等势面分布,采用该方法,进行了硫元素的离子注入,采用X射线光电子能谱深度剥层分析的方法测量了注入硫的深度分布,并采用TRIM程序对注入结果进行了模拟对比分析。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 徐式如,张莹,郑天丕;离子注入对电器触头性能的影响[J];核技术;1988年03期
2 ;用等离子体源离子注入法提高金属表面耐蚀性[J];材料保护;1995年02期
3 孙树滋,李杰;离子注入金属的实验研究[J];东北大学学报(自然科学版);1990年03期
4 许承惠,蔡伟平,田薇;离子注入形成表层耐蚀合金的结构分析[J];武汉科技大学学报(自然科学版);1995年03期
5 陈伟荣;离子注入对钛合金表面力学性能的影响[J];大连大学学报;1996年04期
6 巢毅敏,杨建华;强束流Zr离子注入H13钢改善其耐磨性的研究[J];江苏石油化工学院学报;1999年03期
7 胡仁元;离子注入抑制金属氢脆[J];材料保护;1985年05期
8 熊兆奎,徐培光,汪德志,郑思孝,林锡刚;离子注入在刀具上应用的研究[J];核技术;1987年01期
9 G.A.Collins!澳大利亚,杨向明;PI~3(等离子浸没离子注入)─—一种新型氮化工艺[J];国外机车车辆工艺;1996年02期
10 张丽,蒋昌忠,任峰,陈海波,石瑛,付强;Ag-Cu离子注入玻璃后不同气氛退火的光吸收研究[J];物理学报;2004年09期
11 朱承永;;大有前途的金属处理工艺——谈金属材料的离子注入[J];机械工人.热加工;1980年08期
12 乔墉,罗朝渭,丁世德;离子注入精密摩擦付的橡拟实验研究[J];核技术;1986年08期
13 何肇基;;亚显微深度下的硬度试验[J];试验技术与试验机;1990年06期
14 王钧石,陈元儒,刘阳;38CrMoAl钢等离子体源离子注入表面改性研究[J];机械工程材料;1998年03期
15 杨建华,张通和,顾卫标;强束流Zr离子注入H13钢改善其耐磨性研究[J];南通工学院学报(社会科学版);1998年02期
16 吴起白,黄拿灿,胡社军,曾鹏,尹诗衡;WC-Co硬质合金离子束表面改性研究[J];金属热处理;2000年07期
17 沈保罗,易勇,高升吉,高见;离子注入及其应用[J];机械;2001年04期
18 柳襄怀;邹世昌;;八十年代表面处理新技术——离子注入工艺(二)[J];热处理;1986年01期
19 薛磊,杨雨时,杨二林,沈江立;离子注入强化轴承钢表面的研究[J];宇航材料工艺;1988年03期
20 许承惠,蔡伟平,田薇;离子注入对纯铁表层结构及抗蚀性能的影响[J];武汉科技大学学报(自然科学版);1995年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李刘合;朱剑豪;;电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入研究[A];第十一次全国焊接会议论文集(第1册)[C];2005年
2 李刘合;梁爱凤;尹蓝;朱剑豪;;一种新型离子注入方法——电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入研究[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年
3 杨建华;张通和;;经强束流金属离子注入的几种钢的表面结构和成分[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
4 高诚辉;林有希;刘映球;;离子注入表面摩擦学改性及其应用[A];第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集[C];2004年
5 童洪辉;;多功能离子注入技术及应用[A];首届中国热处理活动周论文集[C];2002年
6 冯宏剑;郑津辉;赵杰;;不锈钢及其基底上TiN膜注银的XRD、XPS、AES分析[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
7 侯建国;吴自勤;陈峻;;离子注入aGe/Au双层膜分形区的高分辨电镜观察[A];第五次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1988年
8 王茜;蒙大桥;刘柯钊;;离子注入碳对纯铁表面初始氧化行为的影响[A];中国工程物理研究院科技年报(2008年版)[C];2009年
9 李颂;于义超;杨建华;罗达峰;;强束流离子注入引起的温升研究[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
10 宋银;张崇宏;王志光;;离子注入/辐照引起的Al_2O_3单晶改性研究[A];第二届全国反应堆物理与核材料学术研讨会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 卫中山;MEVVA离子注入钛合金抗疲劳制造的基础研究[D];南京航空航天大学;2003年
2 冯凯;离子注入提高不锈钢耐腐蚀和表面导电性能的研究[D];上海交通大学;2012年
3 吴国松;镁合金表面PVD膜层的制备与腐蚀破坏[D];上海交通大学;2006年
4 毛丽贺;医用镁钙锌合金成分设计及表面改性研究[D];天津大学;2009年
5 彭志坚;载能离子陶瓷刀具表面改性研究[D];清华大学;2004年
6 王雪敏;镁合金高温氧化及表面改性研究[D];上海交通大学;2007年
7 刘敏;等离子表面改性技术在刀具材料中的应用[D];中国科学技术大学;2012年
8 王旭;强流脉冲离子束辐照316L不锈钢结构及性能研究[D];大连理工大学;2007年
9 姜海富;细长管内腔空心阴极放电等离子体离子注入/沉积研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
10 华英杰;NiTi生物医学材料表面改性电子结构研究[D];大连理工大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 但智钢;铜离子注入马氏体不锈钢制备抗菌功能材料的研究[D];武汉科技大学;2004年
2 杨海钢;Al离子注入AZ31镁合金的电化学腐蚀研究[D];大连交通大学;2005年
3 陈涛;金属离子高温注入金属合成金属间化合物预测研究[D];大连理工大学;2005年
4 邓炯;氮离子注入两种新型钛合金的表面改性研究[D];四川大学;2005年
5 李朋;铝离子注入AZ31镁合金的腐蚀磨损研究[D];大连理工大学;2006年
6 冯建基;Al、Y离子注入及复合技术对提高Si_3N_4抗氧化性能的研究[D];大连理工大学;2004年
7 韩锦珠;铜合金离子注入层的组织结构及摩擦特性[D];燕山大学;2010年
8 张丽;锆离子注入铜合金表面改性及摩擦学研究[D];燕山大学;2012年
9 孟春蕾;离子注入AZ31镁合金的抗腐蚀和力学性能研究[D];昆明理工大学;2010年
10 廖世国;离子注入在铅、镍和铝腐蚀与防护中的应用[D];重庆大学;2002年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 太原东山煤矿有限责任公司 王志荣;自润滑刀具材料研究[N];山西科技报;2006年
2 杨佳琪 刘朝晖;表面工程:让材料按需穿衣[N];科技日报;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978