收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

硅微谐振式加速度计固有谐振频率的提高方法研究

曹宇  董景新  胡淏  
【摘要】:提高硅微谐振式加速度计的固有谐振频率,有利于提高加速度计的分辨率和稳定性、实现硅微谐振式加速度计的高精度。增大硅微谐振式加速度计的振梁宽度、或对振梁施加适当的轴向预载荷,均有利于提高其固有谐振频率。然而上述两种方法均将造成振梁谐振幅值的降低,不利于电容检测。本文通过理论分析和仿真比较,得出结论:上述第二种方法所付出的振幅代价较小,该优势尤其体现在振梁初始谐振幅值较小的时候.文中还给出了谐振幅值、谐振频率、振梁宽度、轴向预载荷之间的关系图,借助该图可选择适当方式,以取得谐振频率和谐振幅值两者的平衡。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 钟莹,李醒飞,张国雄;有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用[J];天津大学学报;2003年04期
2 杨贵玉;王鲜然;周建发;孟丽娜;;石英谐振式加速度计[J];遥测遥控;2007年S1期
3 何高法;唐一科;何晓平;吴英;;谐振式微加速度计设计与加工误差分析[J];传感器与微系统;2009年01期
4 裘安萍;庄瑞芬;施芹;;硅微谐振式加速度计结构设计与仿真[J];中国惯性技术学报;2009年01期
5 何高法;唐一科;周传德;何晓平;吴英;;基于柔性铰链机构的谐振式微加速度计设计制作[J];中国机械工程;2010年04期
6 陈国炜;朱荣;;基于氧化锌纳米线的硅谐振式加速度计(英文)[J];光学精密工程;2009年06期
7 何高法;唐一科;周传德;何晓平;吴英;;谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作[J];重庆大学学报;2009年09期
8 钟莹,张国雄,郝一龙,贾玉斌;硅微机械音叉式谐振器[J];仪器仪表学报;2005年08期
9 何高法;唐一科;刘世明;何晓平;;微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析[J];传感技术学报;2007年07期
10 杜炜强;;M6加速度计的自诊断系统[J];火箭推进;2002年06期
11 徐涛,罗武胜,吕海宝,董文娟;微硅加速度计在定向钻进角度测量中的应用[J];国防科技大学学报;2004年02期
12 熊嚥,陈明,郭琳,赵博辉;声表面波加速度计中压膜阻尼技术的研究[J];传感器技术;2004年10期
13 李慧敏,袁丽冬;用MAX1457实现对硅压阻式加速度计的温度补偿[J];计量与测试技术;2005年04期
14 周晓尧;曲从善;刘奕辰;;基于PC104总线的加速度计测试系统设计与实现[J];弹箭与制导学报;2006年S3期
15 邢馨婷;姜程;熊磊;张朋好;;一种摆式大量程加速度计的设计[J];计测技术;2007年06期
16 解磊;苏伟;陈泉根;;微电容加速度计系统的设计[J];传感器与微系统;2007年11期
17 周红进;许江宁;覃方君;;一种新的基于加速度计的无陀螺捷联惯性导航系统设计与实现[J];仪器仪表学报;2008年07期
18 岳春峰;于化东;段凤阳;许金凯;李小龙;;单轴加速度计信息采集系统设计[J];光机电信息;2010年09期
19 D.J米莱斯,丁其伯;力反馈式加速度计用的一种多用途测试装置[J];电光与控制;1977年02期
20 朱展文;;液浮摆式加速度计零位漂移数学模型的研究[J];华南理工大学学报(自然科学版);1991年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈光明;符养;徐寄遥;陈凤贵;;基于CHAMP卫星加速度计观测的高层大气密度研究[A];国家安全地球物理丛书(六)——空间地球物理环境与国家安全[C];2010年
2 何胜;王巍;邢朝洋;;石英振梁式加速度计研究[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
3 钱朋安;;加速度计自动校准技术研究的现状分析[A];第十七届全国测控计量仪器仪表学术年会(MCMI'2007)论文集(下册)[C];2007年
4 朱红生;何胜;赵采凡;;硅微加速度计在动态测斜中的应用[A];2001年飞行器惯性器件学术交流会论文集[C];2001年
5 齐建宇;李华滨;;一种利用加速度计输出标定惯性平台陀螺漂移的方法[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
6 曹宇;董景新;胡淏;;硅微谐振式加速度计固有谐振频率的提高方法研究[A];2010年惯性技术 发展动态 发展方向研讨会文集[C];2010年
7 武强;宁德尧;;基于FFT的压电加速度计背靠背替代法校准技术[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
8 马铁华;朱红;;基于水银的电容式加速度计研究[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年
9 薛大同;张剑威;王佐磊;刘保湘;;静电悬浮加速度计真空装置的研制[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
10 王宏伟;江世宇;腾功清;齐臣杰;;一种小型电容敏感式加速度计的研制[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘志平;无陀螺捷联惯导系统若干关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 杨杰;无陀螺捷联惯导系统加速度计构型研究与误差分析[D];哈尔滨工程大学;2011年
3 张习文;微小型加速度计的精密装配及影响性能的因素研究[D];大连理工大学;2013年
4 刘力;惯性传感器扭摆测试中地面振动和放电金丝的影响研究[D];华中科技大学;2012年
5 肖光宗;基于Y型腔正交偏振双频激光器的激光加速度计初步研究[D];国防科学技术大学;2011年
6 何晓阳;微波频段非谐振式Metamaterial结构及其应用的研究[D];清华大学;2011年
7 蒋玉齐;高量程MEMS加速度计封装研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
8 迟晓珠;六自由度运动多参数综合测试技术的研究[D];哈尔滨工程大学;2004年
9 吴波;硅微光机械加速度地震检波器理论与实验研究[D];天津大学;2005年
10 张燕君;光电集成加速度地震检波器的理论与实验研究[D];天津大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 庄瑞芬;硅微谐振式加速度计结构设计技术研究[D];南京理工大学;2009年
2 姜华;VBA()关键技术研究[D];西安电子科技大学;2001年
3 周益明;二维同振柱形矢量水听器的研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
4 刘佳钰;加速度计横向输出特性研究及其对惯性组合的影响[D];中北大学;2008年
5 朱大非;基于折叠壳式加速度计柱形矢量水听器研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
6 陈宇晓;电容式微机械静电伺服加速度计系统分析[D];电子科技大学;2003年
7 赵正杰;无陀螺飞行体姿态测试与仿真[D];中北大学;2006年
8 黄平;加速度计数据采集与数据库管理系统开发技术[D];四川大学;2005年
9 郑晓东;基于DSP的加速度计温度模型辨识与补偿方法研究[D];西安电子科技大学;2007年
10 王强;高精度加速度计空间引力标定方案研究[D];华中科技大学;2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 包秋红;加速度计测试的加速者[N];中国航空报;2004年
2 江苏 刘旭;谐振式高功率因数电感镇流器[N];电子报;2003年
3 河北 刘瑞玺;谐振式滤波器谐电容的选取[N];电子报;2005年
4 青海 陈宪和;也谈谐振式滤波器谐振电容的选取[N];电子报;2005年
5 时萱;感官敏锐 听看八方[N];中国航天报;2005年
6 北京弗欧弗奥信息咨询有限公司 谭薇;MEMS传感器大规模应用指日可待[N];中国电子报;2006年
7 李洵颖 DigiTimes;Wii旋风催动MEMS应用[N];电子资讯时报;2007年
8 记者  罗翠钦;三轴加速度计有望成消费应用标配[N];中国电子报;2005年
9 记者 安勇龙;MEMS:封装是难点 期待标准工艺[N];中国电子报;2007年
10 李洵颖;Wii、iPhone刮旋风 微机电应用窜红[N];电子资讯时报;2007年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978