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石英微机械惯性传感器的研究

张巧云  林日乐  谢佳维  张挺  翁邦英  王瑞  赵建华  郑永祥  吕志清  
【摘要】:石英微机械惯性传感器包括陀螺和加速度计,由于其自身特点,使其在军民市场具有广阔的应用前景,引起了国内外学者的广泛关注。本文主要介绍本所研究的微机械陀螺的结构、基本原理、加工工艺及最新的研究进展。

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