微机械加工技术

【摘要】：阐述了MEMS系统的几种重要的微机械加工技术,体硅微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术、微机械封接技术,并分析了它们的工艺特点。文中对微机械表征和测试技术也做了相应的描述。针对工艺和设计相互关系问题,本文也谈了自己的看法。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	欧阳楚萍;二级成形装药设计探讨[J];弹箭与制导学报;1986年02期
2	吴国泰,邵秦安;兰州工贸大厦结构设计[J];建筑科学;1988年06期
3	岳英俊;;气卸散装水泥罐式汽车结构设计基本问题[J];专用汽车;1989年04期
4	孙诚;;非管非盘式折叠纸盒结构设计[J];包装工程;1990年04期
5	李兆林;触脚到位试探器的功能及其设计[J];电气应用;1991年02期
6	陈鸿毅;;创新的油船货油舱结构设计[J];造船技术;1991年12期
7	佟富强;正切型弹性体材料的缓冲包装设计[J];包装工程;1992年01期
8	余正庚,曾繁禹;广州望江楼大酒店结构设计[J];建筑科学;1993年01期
9	王贤烽;唐育民;;船舶尾管轴承优化设计方法的选择及其改进[J];武汉理工大学学报(交通科学与工程版);1993年03期
10	余德蓉;;定转子氟里昂蒸发冷却异步电动机[J];东方电机;1995年02期
11	杨利红,孙鹏举,张维洁;日本350MW锅炉与国内300MW锅炉结构设计的比较[J];锅炉制造;1999年01期
12	刘士奇;;广州抽水蓄能电站发电电动机的结构特点[J];东方电机;1999年02期
13	马士法;多层住宅结构设计探讨[J];工程建设与设计;2002年02期
14	吉翔;水电站GIS楼结构设计的一些心得[J];水电站设计;2004年03期
15	郭慧颖;高层住宅结构设计中的问题及处理[J];山西建筑;2005年11期
16	潘攀,崔秀梅,陆旭光;基于人机工程学的手持式军用红外热像仪结构的优化设计[J];红外;2005年07期
17	马成松,黎生南;基于运动的结构设计[J];长江大学学报(自然科学版);2005年04期
18	;卧式抽油烟机[J];技术与市场;2005年08期
19	张胜;定位挡片复合模设计[J];模具制造;2005年08期
20	秦松祥;纯氧助燃内燃机的研究[J];车用发动机;2005年04期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	孙洪强;邱飞燕;;微机械加工技术[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
2	叶宏;崔京浩;王志浩;;室内燃气爆炸机理、危害及减灾措施[A];第二届全国结构工程学术会议论文集（下）[C];1993年
3	陈仙清;;Pro/ENGINEER软件在小家电产品设计中的应用[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
4	刘春霞;;风云三号扫描辐射计的辐冷一体化结构设计与研究[A];2007年全国第十六届十三省（市）光学学术会议论文集[C];2007年
5	王作杰;李志军;谭志洪;;袋式除尘器传统结构设计改进[A];中国硅酸盐学会环保学术年会论文集[C];2009年
6	傅平;沈润杰;帅光举;郭吉丰;;二自由度行波型超声波电机的研制[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文摘要集[C];2007年
7	王斌;阎军;程耿东;;特定方向“零膨胀”的最小柔顺性结构优化设计[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
8	别辉;陈赣;陈孟华;史建鹏;;拓扑优化技术在乘用车后地板结构设计的应用[A];结构及多学科优化工程应用与理论研讨会’2009（CSMO-2009）论文集[C];2009年
9	王泗军;翟海洋;;结构设计中几个常见问题[A];现代建设工程应用技术学术交流会论文集[C];2009年
10	农兴中;;广州地铁西朗车站结构设计[A];中国土木工程学会隧道与地下工程学会地铁专业委员会第十二届学术交流会论文集[C];1998年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	周奎军;汽车安全气囊气体发生器的研究[D];南京理工大学;2008年
2	周玉石;结构设计的虚拟原型技术与应用研究[D];同济大学;2007年
3	王双义;基于布里渊放大的激光串行组束中若干关键问题研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
4	权哲浩;纳米级步进压电微动台结构设计与性能分析研究[D];天津大学;2007年
5	郑伟;多媒体应用的高性能数字信号处理器功能部件结构设计研究[D];浙江大学;2003年
6	李吉庆;新型竹集成材家具的研究[D];南京林业大学;2005年
7	王伟强;冠状动脉支架力学行为有限元分析及其结构优化[D];大连理工大学;2006年
8	罗冬华;广西侗族传统建筑与家具的文化研究[D];北京林业大学;2010年
9	朱友珠;高效油气分离器工作机理仿真研究[D];西南石油学院;2004年
10	窦慧莉;电控喷射稀燃天然气发动机的关键技术研究[D];吉林大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	全振兴;矿用隔爆交流变频器的结构分析及设计[D];西安理工大学;2007年
2	张腊梅;工字钢结晶器内腔尺寸多坐标自动测量机的设计[D];合肥工业大学;2005年
3	王胜;新型液压打桩锤机电液一体化设计与PLC控制[D];西安建筑科技大学;2005年
4	郭宁;价值工程原理在多、高层结构设计中的应用研究[D];西安建筑科技大学;2005年
5	李五虎;Selfcut自助理发器开发设计[D];浙江工业大学;2005年
6	李峥;DMF350双质量飞轮的开发研究[D];吉林大学;2005年
7	李军;谷子脱粒装置的设计与研究[D];山西农业大学;2005年
8	丁燕芳;旋翼动平衡试验台台体架设计及有限元分析[D];哈尔滨工程大学;2005年
9	张卫锋;变形移动机器人的虚拟仿真和动力学分析[D];山东大学;2005年
10	王蓉;下颌牙种植体力学行为及新型载荷传递方式的有限元分析[D];四川大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	赵宗雄;现代薪酬的结构设计[N];组织人事报;2002年
2	本报记者李好宇;农民发明家和他的世博梦[N];电脑报;2010年
3	中国楼市记者　丁玲通讯员　陈辉;现代设计集团破解上海光源工程结构设计难题[N];中国建设报;2006年
4	;仿生D-R超高密锁芯创新结构设计[N];中国技术市场报;2010年
5	张艳（作者单位系西山煤电集团公司镇城底矿选煤厂）;结构设计中的力学[N];科学导报;2006年
6	廖启忠;复合软包装的文稿和结构设计[N];中国包装报;2003年
7	江苏省无锡工商局新区分局邓锡良;浅谈“节约型工商”建设中的结构设计[N];中国工商报;2006年
8	陈辉;探索结构设计未知的领域[N];建筑时报;2006年
9	;产品结构设计与包装设计的关系[N];中国包装报;2008年
10	廖启忠孙长河;复合软包装的文稿和结构设计[N];中国包装报;2003年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南