收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

电极表面粗糙度对MEMS平行板电容器的影响

郭等柱  
【摘要】:采用静电驱动和电容法检测是MEMS哥氏振动陀螺仪的发展趋势。设计中常用到平行板电容器模型。当电极间距较大时将电极表面视为理想平面是完全可行的;但是,当电极间距小至μm尺度时,就有必要考虑电极表面粗糙度的影响。本文通过分析和实例指出,通常的金属薄膜电极在纳米尺度上是相当粗糙的。进而建立模型,通过理论分析指出,电板表面粗糙度可以引起两极板之间静电势和静电场的空间波动,增大两极板间的平均电势和平均电场,产生附加电容、附加静电能和附力,静电力,也有可能产生附加漏电流。本文的初步结果对MEMS陀螺仪的设计和相关工艺技术的选择有可能提供参考。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 邬夏波;;用静电计测平行板电容器电势差实验的定量分析[J];物理通报;2011年07期
2 金红星;;探析平行板电容器电场分布情况[J];中学物理;2008年07期
3 丁舒忻;;平行板电容器的等效计算分析[J];江西科学;2011年04期
4 蔡保平;;介质内存在球形气泡的圆盘电容器[J];吕梁学院学报;2011年02期
5 戴启军;;电容器与静电屏蔽问题[J];中学生数理化(高中版·学研版);2011年05期
6 袁铁锤;周科朝;李瑞迪;;添加LaCl_3对电沉积Ni-S涂层结构和电化学性能的影响[J];中南大学学报(自然科学版);2011年08期
7 陈朋;满卫东;吕继磊;朱金凤;董维;汪建华;;高掺杂Si/BDD薄膜电极的制备及电化学性能[J];功能材料与器件学报;2011年03期
8 杜楠;叶明阳;赵晴;肖胜辉;李光东;;ρ(Ca~(2+))对碳钢在NaHCO_3-NaCl-CaCl_2溶液中腐蚀行为的影响[J];失效分析与预防;2011年03期
9 东栋;于维平;;锂离子电池微孔Sn-Co-C负极的制备及其性能[J];材料热处理学报;2011年08期
10 刘佳;付玉彬;徐谦;李魁忠;赵仲凯;;Fenton试剂改性海底生物燃料电池阳极及电化学性能[J];材料开发与应用;2011年03期
11 杨春;王金海;谢晓峰;尚玉明;王树博;毛宗强;;丙三醇对钒液流电池电解液影响的交流阻抗研究[J];化工学报;2011年S1期
12 梁镇海;李付合;宋秀丽;李双志;;循环伏安法测定Ti/SnO_2+Sb_2O_x/PbO_2阳极的分形维数及电催化性能[J];太原理工大学学报;2011年05期
13 辜敏;钟琴;;3-巯基-1-丙烷磺酸钠复配添加剂对铜电沉积的作用及机理[J];材料保护;2011年04期
14 李保松;齐宏旭;翟文韬;张亚玲;张翔;黎书樨;危岩;;多电位阶跃法合成大面积聚吡咯薄膜研究[J];中国科学:技术科学;2011年07期
15 张少云;付玉彬;宰学荣;;海泥电池Fe_3O_4/PANI复合阳极制备及电化学性能[J];应用化工;2011年05期
16 李克龙;黄晓东;严校平;陶然;;呋喃丹在L-赖氨酸镍复合膜修饰电极上的电化学行为研究[J];安徽工程大学学报;2011年02期
17 张永胜;赵清全;;浅析闪光焊中电极灼伤产生的原因及预防措施[J];哈尔滨铁道科技;2011年02期
18 赵红卫;李娟;;GIS产品耐压闪络原因[J];河南科技;2011年10期
19 刘庆玉;李锦生;李金洋;陈涛;;微生物燃料电池电极烧结工艺研究[J];可再生能源;2011年04期
20 陈高明;胡立新;王超;;锂离子电池电解液添加剂的研究进展[J];能源研究与管理;2011年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 郭等柱;;电极表面粗糙度对MEMS平行板电容器的影响[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
2 张俊喜;颜立成;魏增福;;黄铜在外加电流阴极保护中最佳电位的确定[A];第十三次全国电化学会议论文摘要集(下集)[C];2005年
3 张卫国;姚素微;赵转清;王宏智;许磊;;半导体WO_3上化学沉积纳米Pd电极及其析氢特性[A];2002年全国电子电镀年会论文集[C];2002年
4 陈静;黄燕生;邵会波;;三种氨基酸化学修饰玻碳电极表面荷电性质的比较[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
5 杨晓欣;;电火花成形加工中电极表面黑色保护膜的形成及对加工的影响[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
6 赵剑;康春霞;贾建援;;计及边缘效应的静电驱动微结构静电力计算[A];2005年机械电子学学术会议论文集[C];2005年
7 郝美兰;戴忠玲;王友年;;带柱形凹槽电极表面双频偏压等离子体鞘层物理特性的研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
8 王恭明;郑家骤;董抒雁;翁轶微;王文澄;章志鸣;;Ag电极表面(CN)~-络合物的SERS效应研究[A];全国第三届光散射学术会议论文摘要[C];1985年
9 周海光;王福林;李秀燕;林颍;;液晶5CB的表面增强拉曼光谱(SERS)研究[A];加入WTO和中国科技与可持续发展——挑战与机遇、责任和对策(下册)[C];2002年
10 陆纪培;许达哲;;电极表面电蚀凹坑及其损耗机理的探讨[A];第五届全国电加工学术年会论文集(电火花成型加工篇)[C];1986年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈志春;辣根过氧化物酶新型电极的构筑与自组装研究[D];浙江大学;2008年
2 殷焕顺;纳米材料修饰电极对土壤及水中酚类污染物的检测研究[D];山东农业大学;2012年
3 刘百祥;DNA电化学生物传感器设计优化技术研究[D];华东理工大学;2012年
4 滕渊洁;基于丝网印刷电极电化学生物传感器研究[D];华东理工大学;2011年
5 李明芳;铂电极上氧还原机理与动力学的研究[D];中国科学技术大学;2011年
6 孙莹莹;葡萄糖氧化酶/纳米材料单层或多层膜用于构筑葡萄糖生物传感器[D];吉林大学;2008年
7 崔艳萍;基于纳米金和三维自组装膜界面的环境电化学传感器制备及应用[D];华中科技大学;2007年
8 魏旭;吩噻嗪类药物与DNA相互作用及其电化学生物传感研究[D];南京理工大学;2010年
9 陈兆鹏;信号增强电化学免疫分析法研究[D];湖南大学;2007年
10 黄勇;电化学基因分型及免疫分析方法的研究[D];湖南大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 谭钦艳;螯合电极的制备及其对海水中铀的吸脱附过程的研究[D];青岛科技大学;2011年
2 任之;钛基二氧化钛、二氧化锡电极的制备及性能研究[D];东北大学;2008年
3 黄芳丽;全固态海洋电场传感器制备及电化学性能研究[D];西安电子科技大学;2010年
4 王淑慧;埋地用Ir-Co/Ti电极的制备及性能表征[D];大连理工大学;2010年
5 张婧;电极表面掺杂态聚苯胺的制备及应用[D];上海师范大学;2010年
6 雷梦毕;Ag/AgCl全固态海洋电极的工艺与性能研究[D];西安电子科技大学;2011年
7 秦瑞焕;Sm~(3+)掺杂Ti/SnO_2-Sb电极的制备及性能研究[D];兰州理工大学;2012年
8 胡朝颖;细胞阻抗和电位检测复合传感器及其在药物分析中应用的研究[D];浙江大学;2010年
9 班彦萍;硅基光电化学过氧化氢传感电极的研究[D];山东师范大学;2012年
10 陈晟颖;用于海水电解的Ti/RuO_2-Sb_2O_5-SnO_2电极的制备与应用研究[D];浙江大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 葛进;日证明水具有普克尔斯效应[N];科技日报;2008年
2 刘星;全自动生化分析仪的使用注意事项[N];农村医药报(汉);2008年
3 上海博物馆 周浩;银器文物防变色缓蚀保护处理[N];中国文物报;2008年
4 朱珠;污水净化有了新技术[N];人民日报;2008年
5 高举;冬季存放农机具要“六防”[N];河南科技报;2002年
6 南京大学陈洪渊院士;仿生催化与生物分子器件[N];科技日报;2002年
7 于洋张兆军;新型导电聚合物材料及膜导电性测量仪研发成功[N];科技日报;2008年
8 李晓岩;电吸附技术实现污水高端再生利用[N];中国化工报;2008年
9 周雄赞;结合物理教学对学生实施素质教育[N];湖南经济报;2003年
10 江苏 史广生;光纤熔接机维护和故障排除[N];电子报;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978