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具有强大潜在生命力的微小型惯性器件

陈效真  王巍  任德民  王燕林  
【摘要】:正 1.前言自70年代以来,传统机械式惯性仪表己基本满足现有导航与制导需求。为了降低成本,提高可靠性,获取更高性能价格比,扩展应用范围,满足发展需求,新型惯性仪表如雨后春笋,得到突飞猛进发展。尤其80年代,半导体工业飞速发展,使MEMS微惯性仪表提到了重要地位。微机电系统(micro electron mechanical system缩写为MEMS)开发的微固态仪

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