收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

石英微机械陀螺的研究进展及应用前景

张巧云  胡爱民  林日乐  张挺  谢佳维  毛世平  李卯辰  郑永祥  吕志清  
【摘要】:利用微电子加工技术研制的微机械陀螺便于批量生产,它具有成本低、重量轻、抗振动冲击能力强等特点。本文讨论石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英微加工的化学各向异性刻蚀的机理和试验结果,给出了石英微机械陀螺的加工方法。借助化学刻蚀技术,我们已经研制出微机械陀螺样机,样机的主要技术指标如下:品质因素为2000-5000,测量范围为±1000°/s,本位稳定性为0.7°/s。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 董煜茜,高钟毓,陈志勇,张嵘;微机械振动轮式陀螺样机的实验研究[J];宇航学报;2000年01期
2 谭晓昀;刘晓为;丁学伟;马原芳;;自激驱动方式的振动式微机械陀螺全差动接口电路(英文)[J];传感技术学报;2008年04期
3 陈志勇,高钟毓,张嵘;振动轮式微机械陀螺频率配置和气压选择[J];中国惯性技术学报;2001年03期
4 苏永川;朱振忠;赵治国;张锐;王清亮;李世国;;石英微机械陀螺信号的数字解调[J];压电与声光;2009年02期
5 杨金显;袁赣南;徐良臣;;基于灰色模型的微机械陀螺温度漂移建模研究[J];传感技术学报;2007年07期
6 罗文华;温廷敦;毛海央;熊继军;吴瑞;;基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In_(0.1)Ga_(0.9)As贴膜微机械陀螺的设计[J];弹箭与制导学报;2008年05期
7 刘晓为;莫冰;王超;谭晓昀;许晓巍;齐向昆;;微机械陀螺ASIC接口电路设计[J];传感技术学报;2006年05期
8 迟晓珠;崔健;闫桂珍;;MEMS陀螺振动特性试验技术[J];传感技术学报;2008年04期
9 陈永奇;张春熹;王敏;;微机械陀螺在机载光电平台中的应用[J];微计算机信息;2006年05期
10 蔡占军;翁海珊;俞必强;;微机械陀螺的多学科设计优化建模的研究[J];传感器与微系统;2009年01期
11 李锦明;张文栋;李林;;电容式微机械陀螺品质因子测试方法研究[J];中北大学学报(自然科学版);2006年04期
12 刘海林;徐晓松;肖健明;张福学;;无驱动结构硅微机械陀螺的信号处理[J];北京机械工业学院学报;2008年03期
13 张霞;郑旭东;王昊;金仲和;;微机械陀螺的建模与仿真[J];浙江大学学报(工学版);2009年04期
14 杜烨;曹红松;张正涛;;微机械陀螺误差特性实验研究[J];弹箭与制导学报;2005年SB期
15 张楠;文江川;张福学;;载体驱动硅微机械陀螺的电学模型研究[J];石河子大学学报(自然科学版);2006年03期
16 莫冰;刘晓为;谭晓昀;尹亮;丁学伟;汤佳郁;;双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法[J];传感技术学报;2006年05期
17 杨金显;袁赣南;周卫东;;基于局域波分解的微机械陀螺信号提取研究[J];宇航学报;2008年04期
18 刘晓为;莫冰;谭晓昀;陈伟平;;基于锁相技术的微机械陀螺闭环驱动电路[J];纳米技术与精密工程;2008年06期
19 李孟委;刘俊;刘韶轩;杜康;石云波;;基于介观压阻效应的新型微陀螺仪结构设计与优化[J];测试技术学报;2009年06期
20 蒋庆华;苑伟政;常洪龙;;面向无人机的单芯片惯性测量组合[J];航空工程进展;2010年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张巧云;胡爱民;林日乐;张挺;谢佳维;毛世平;李卯辰;郑永祥;吕志清;;石英微机械陀螺的研究进展及应用前景[A];中国惯性技术学会光电技术专业委员会第五次学术交流会暨重庆惯性技术学会第九次学术交流会论文集[C];2002年
2 陈志勇;张嵘;周斌;郭美凤;;微机械陀螺研制进展[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
3 富立;吴维;;微机械陀螺的测试与建模[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
4 庄海涵;王巍;邢朝洋;张廷凯;;线振动微机械陀螺大载荷下频率漂移特性研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
5 李增新;崔燕;李海强;;对谐振轮式微硅陀螺的结构分析与检测[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
6 李东明;周雪梅;苏丽;;小波去噪在微机械陀螺漂移特性分析中的应用[A];2004年船舶仪器仪表学术年会论文集[C];2004年
7 谢立强;吴学忠;李圣怡;;相关检测与自动增益控制在音叉式石英微陀螺中的应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
8 陈志勇;张嵘;周斌;郭美凤;;微机械陀螺研制进展[A];中国惯性技术学会第五届学术年会论文集[C];2003年
9 莫冰;谭晓昀;刘晓为;;电容检测型微机械陀螺的信号检测电路[A];第七届青年学术会议论文集[C];2005年
10 方针;张巧云;吕志清;;惯性技术的新发展[A];惯性技术发展动能发展方向研讨会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 李孟委;基于砷化镓的介观压阻效应微机械陀螺研究[D];中北大学;2010年
2 陈宏;全对称双级解耦微机械振动式陀螺研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
3 陈雪萌;一种压阻式微机械陀螺的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2005年
4 陈妍;双路闭环谐振式集成光学陀螺研究[D];浙江大学;2012年
5 谢立强;基于剪应力检测的新型石英微陀螺关键技术研究[D];国防科学技术大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郭俊敏;电容式微机械陀螺电路设计与测试技术[D];北京邮电大学;2010年
2 李亚山;微机械陀螺仪的封装研究[D];中北大学;2011年
3 温祖强;微型航姿参考系统中微机械陀螺温度误差及补偿算法研究[D];上海交通大学;2011年
4 赵幸娟;电容式微机械陀螺外围接口电路的设计与测试[D];中北大学;2012年
5 韩磊;电磁式微机械陀螺检测电路设计[D];华北电力大学(北京);2008年
6 韩天;解耦结构微机械陀螺特性研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
7 黄艳辉;MTi中微机械陀螺误差测试、建模及补偿研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
8 唐鼎;基于0.5umCMOS工艺陀螺接口电路的研究与设计[D];哈尔滨工业大学;2007年
9 邱奕文;微机械(MEMS)陀螺外围信号数字处理系统研究[D];浙江大学;2008年
10 许晓巍;微机械陀螺自激驱动电路研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978