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声表面波陀螺仪

吕志清  张巧云  
【摘要】：声表面波陀螺的概念出现在七十年代初期,发展为MEMS-IDT声表面波陀螺仅是最近几年的事情.MEMS-IDT声表面波陀螺仪是一种MEMS微机械振动陀螺,这种陀螺为单层平面结构,采用标准IC工艺就可完成加工;勿需悬浮的振动元件,有很强的抗冲击振动能力,可靠性高;可不用真空封装而保持较高的灵敏度.因此,MEMS-IDT声表面波陀螺正在受到越来越多的关注.

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8 周坤;陀螺刀专题研讨会在西安召开[N];健康报;2009年
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