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硅微加速度计微敏感结构设计与研制

何胜  赵采凡  朱红生  王岩  
【摘要】:随着现代高科技的迅速发展,微机电系统(MEMS)技术日益受到广泛关注,该项技术在惯性技术领域的应用也越来越广泛。虽然国内硅微加速度计的研究在实验室状态下取得了很大进展,但是在一致性、长期稳定性问题及工程实用化方面存在一系列问题,未能有所突破。根据国内现有的微机械加工能力和惯性技术领域的应用需求,为解决上述问题,本文讨论了静电力反馈闭环硅微加速度计的两种微敏感结构的研制,两种微敏感结构分别是:“叉指式”和“三明治式”。试验结果表明:我们立足从工艺角度解决硅微加速度计微结构的长期稳定性、一致性和应用环境的适应性问题。现已取得了一定的进展,对硅微加速度计的工程实用化进行了探索性研究。

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