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微电子技术在惯性技术领域中的应用

张巧云  吕志清  彭洪亮  林日乐  张挺  
【摘要】:本文简要介绍了化学各自异性刻蚀的原理,说明了石英音叉振子的加工过程,给出了石英微机械振动陀螺的结构和试验结果,目前制作出的微机械振动陀螺的刻度因子大约为1mV/(°/s),品质因子大约为(5-6)×10~3。

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