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ZnS基底沉积类金刚石薄膜的研究

黄光伟  杨静  张红梅  
【摘要】:针对不能直接在红外光学材料ZnS基底上沉积DLC膜的问题,本文介绍了在ZnS基底上沉积DLC膜的方法,该技术解决了ZnS表面上镀制高效减反膜,膜层不足以抵抗恶劣环境的问题。同时,我们在膜系设计时,通过优化设计,以及使用组合膜层等方法,降低了DLC膜的单面反射率,进一步改善了ZnS镀膜后的光谱性能。

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