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极紫外、软X射线与X射线多层膜元件研究

朱京涛  张众  王风丽  李文斌  王占山  陈玲燕  
【摘要】:正围绕我国同步辐射光源、稠密等离子体诊断、极紫外光刻、极紫外天文观测、X射线天文望远镜等应用需求,研制了一系列关键的多层膜光学元件。为满足同步辐射偏振测量需要,采用La/B4C,Mo/Y,Mo/Si多层膜,研制了6.7-30nm的宽带偏振片;为满足Fe,Co,Ni等磁性材料偏振测试需要,研制了超薄W/B4C

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