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玻璃基底和粗糙度在氮化硅薄膜椭偏测量中的影响

刘文德  陈赤  樊其明  徐英莹  张静  
【摘要】:在光谱椭偏测量中,玻璃基底的背反射会给椭偏测量造成较大影响,针对平板显示器件玻璃基底表面氮化硅镀膜进行了椭偏测量和模型计算,讨论了玻璃基底中非相干背反射以及薄膜界面层、表面粗糙度对模型拟合度的影响,给出了玻璃基底以及薄膜体系的光学常数、薄膜结构的分析结果,对透明基底表面沉积单层或多层薄膜均有借鉴意义。

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