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YAG晶体的取向对SiO_2薄膜的显微结构和附着性能的影响

王河  张伟丽  晋云霞  贺洪波  范正修  
【摘要】:用电子束蒸发技术在两种不同取向的钇铝石榴石(Y3Al5O12,简称YAG)晶体上沉积了SiO2薄膜,采用X射线衍射仪和纳米划痕仪对YAG晶体上沉积的薄膜显微结构和附着性能进行了研究。实验结果表明:YAG晶体取向对薄膜的显微结构有明显影响,SiO2薄膜只在YAG(100)基底上结晶,而在YAG(111)基底上无结晶。两种取向晶体上的薄膜附着力无明显差别。

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