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一种基于双材料悬臂梁的太赫兹焦平面阵列

段国腾  苏波  张存林  赵伟瑞  
【摘要】:太赫兹成像技术在隐蔽物探测及非损伤性医学成像方面有着巨大的潜力,最近,由于太赫兹源和探测器的进步,太赫兹成像技术已经成为了研究热点。本文首先提出了一种实时太赫兹主动式成像系统。该系统的关键元件是一种基于MEMS的双悬臂梁焦平面阵列。由于太赫兹能量小,为了提高器件探测的灵敏度,针对太赫兹波段对器件提出了如下的方案:一是使用基于表面等离子体共振原理的光读出方案,二是对微梁结构做了设计,使微梁可以沿垂直方向移动。最后对设计的结构进行了有限元分析。分析表明改进方案对灵敏度的提高非常有效。

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