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大尺寸1064nm窄带滤光片的研制

鲍刚华  焦宏飞  张锦龙  程鑫彬  
【摘要】:本文对工作在大型固体激光系统中1064nm处大尺寸HfO2/SIO2窄带滤光片进行了研究。讨论了非均质性对反射式光学膜厚监控精度的影响,分析了监控波长对信噪比、光源稳定性的影响;在此基础上优化了监控参数,使得监控精度达到了镀制窄带滤光片的需求。制备过程中的薄膜光谱分析表明:随着蒸镀过程的进行,HfO2的实际厚度会逐渐小于设计值,而SIO2的实际厚度则会逐步大于设计值,这种变化趋势导致的厚度误差会严重影响带通的波形;掩模板造成的厚度误差也是影响带通波纹的重要因素之一。经过修正公积因子和掩模板,实验最终制备出的滤光片带宽为5nm,通光口径可达200mm×200nm,中心波长误差不超过2nm。

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