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矩形口径离轴椭球面反射镜的制造

姚小银  
【摘要】:工的矩形口径离轴椭球面反射镜,根据三级像差理论,求解供检测用offner补偿器的初始结构参数,并用zemax光学设计软件进行优化,得到剩余波相差优于λ/1000(λ=0.6328nm)的设计结果。接着在对其公差和加工工艺性详细的分析基础上,确定了实际检测用的补偿器参数。另外文中还介绍了此反射镜的加工过程和离轴量的控制方法,运用有限元技术分析了加工过程中的支撑方案。最后加工得到的离轴椭球面反射镜面型误差优于λ/60(λ=0.6328nm),离轴量误差小于0.2mm

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