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轻质离轴碳化硅非球面反射镜加工与检测

王孝坤  
【摘要】:分析了碳化硅作为空间反射镜材料的各种优点,研究了加工和检测碳化硅非球面反射镜的各项关键技术。利用自行开发的非球面加工中心FSGJ-2对离轴碳化硅非球面进行了研磨、抛光和轮廓测量,并专门设计研制了计算全息衍射检测装置,对其进行了零位补偿干涉测量。结合工程实例对一口径为468mm×296mm的离轴碳化硅非球面进行了超精加工与检测,最终面形PV值为0.148λ,RMS值为0.017λ,达到了良好的效果。

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