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碳化硅光学表面抛光机理研究

范镝  
【摘要】:本文对碳化硅光学表面抛光机理进行了研究;介绍了陶瓷材料的磨削机理—压痕断裂模型;应用压痕断裂模型分析了理想状态下的碳化硅抛光过程;研究了在实际抛光过程中碳化硅光学表面抛光机理。

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