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CMOS图像传感器像素三维光学特性模拟与优化

高铁成  姚素英  徐江涛  赵士彬  
【摘要】:采用FDTD方法对1.75umCMOS图像传感器像素进行了三维光学模拟,研究了介电层厚度以及微透镜的曲率半径对于光学性能的影响,通过在硅表面增加适当厚度的氮化硅层来减少硅和介电层界面处光的反射,并提出了采用高折射率导光芯层对光线进行限制的方法。结果表明,经过优化后的像素光效可提高20%以上,串扰可减少50%。

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