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分子束外延生长超薄铝膜光学常数的研究

高尚  连洁  宋平  李萍  马铮  王晓  吴仕梁  
【摘要】:随着集成光学与微电子学的发展,超薄金属膜性质的研究变得越来越重要。超薄金属膜的光学常数对薄膜厚度的灵敏性给光学常数的测量带来了困难。尤其是对于10nm以下的超薄金属膜的研究,常常受制于实验条件而无法得到精确的结果。此次实验采用分子束外延方法生长了一系列不同厚度的超薄铝膜(2-16nm)。利用椭偏仪对铝膜的光学常数随厚度的变化规律进行研究。建立了不同的椭偏模型,经过数据分析,最终选用最优的Drude模型联合Lorenz模型的解谱方法分析椭偏测量结果,发现超薄铝膜的光学常数随薄膜厚度有规律得变化,但是2-3nm厚度铝膜的光学常数表现出异于其它厚度铝膜的特点,而且不同厚度铝膜的吸收峰的位置也有所不同。

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