三色激光散斑自相关法测量表面粗糙度的模拟及分析

【摘要】：为了研究表面弯曲对利用多色散斑测量表面粗糙度的影响,本文引入表面曲率半径,通过模拟粗糙表面以及其形成的散斑场,讨论了不同曲率半径的粗糙曲面对模拟散斑场和散斑延长率的影响。结果表明,引入粗糙表面的曲率半径的影响,对三色激光散斑自相关测量法是可行的;而且,粗糙表面曲率半径越大,其模拟的散斑场和计算的散斑延长率与平直的粗糙表面相比,两者越接近;不同的曲率半径,曲率半径越大,散斑延长率愈大。曲率半径越大,表面粗糙度测量误差越小。因此,在实际测量中,应该考虑表面弯曲对测量粗糙度精度的影响。