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InGaAs线列红外探测器研究

潘建旋  杨栋  赵毅强  李献杰  
【摘要】:与InP衬底晶格常数相匹配的InGaAs材料能够制作出高质量、可在室温条件下工作的光电探测器。利用设计的256线列InGaAs探测器芯片和COMS集成读出电路芯片,研制出短波红外探测器组件,探测器组件光响应谱段范围为0.92μm-1.7μm,组件响应度大于1×106V/W,响应带宽10MHz,组件响应线性度良好,并在室温下顺利成像。

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