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脉冲激光沉积制备ZnO掺Co薄膜和宽带能隙分析

苏雪琼  王丽  陈江博  万晓婧  
【摘要】:通过选取不同的基片温度,利用脉冲激光沉积的方法成功制备掺钴氧化锌薄膜。通过对样品的原子力显微镜(AFM)测试,观测到生长样品的表面形貌图形较纯ZnO薄膜光滑平整;通过对薄膜的X射线衍射(XRD)表征,测量出Co的掺杂并没有破坏ZnO纤锌矿结构,500℃样品的表面形貌和结构最佳;为进一步观察Co元素掺杂对ZnO结构的影响,通过透射谱探讨了宽带能隙发生变化规律及内部机理。

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