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玻璃基底上制备多孔氧化铝薄膜的研究

赵立新  夏志林  薛亦渝  郭培涛  彭桦  李展望  
【摘要】:多孔光学薄膜有较高抗激光损伤能力,在玻璃基底上制备的多孔氧化铝光学薄膜,可以用做研究多孔膜抗激光损伤机理的试样。采用电子束蒸发和阳极氧化法,在BK-7光学玻璃基底上制备出了孔径大小可调、孔隙率可调、孔分布均匀的多孔氧化铝光学薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)和分光光度计表征了薄膜的形貌和透射率。结果表明:电子束蒸镀的铝膜表面质量比电抛光的铝箔表面质量差;二次氧化法比一次氧化法更易得到规整的孔结构;与硫酸和草酸电解液相比,在磷酸电解液中制备的多孔氧化铝薄膜具有较大的孔径,更高的孔隙率;退火有利于多孔氧化铝薄膜透射率的提高。

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