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激光加工石英微通道技术的研究

彭长屏  秦水介  
【摘要】:本文主要介绍用激光诱导等离子体加工法(LIPAA)在高纯度的石英上加工出微米量级的通道,以及加工过程中激光参数对通道成型和通道质量的影响.激光加工法的优点在于不污染加工材料,加工能力很强且快速,加工方式多样等.激光诱导等离子体加工法的原理就是利用高能量密度的激光束照射材料表面,材料表面被汽化同时离子化,进而形成等离子体,具有极高温度的离子体便用来加工材料.由于石英的高耐腐蚀,高硬度,高透光性使得传统的加工工艺难以达到我们的期望,而激光诱导等离子体加工法很好的克服了以上困难.

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