激光加工石英微通道技术的研究

【摘要】：本文主要介绍用激光诱导等离子体加工法(LIPAA)在高纯度的石英上加工出微米量级的通道,以及加工过程中激光参数对通道成型和通道质量的影响．激光加工法的优点在于不污染加工材料,加工能力很强且快速,加工方式多样等．激光诱导等离子体加工法的原理就是利用高能量密度的激光束照射材料表面,材料表面被汽化同时离子化,进而形成等离子体,具有极高温度的离子体便用来加工材料．由于石英的高耐腐蚀,高硬度,高透光性使得传统的加工工艺难以达到我们的期望,而激光诱导等离子体加工法很好的克服了以上困难．

下载App查看全文

下载全文更多同类文献论文一键排版服务>>

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前10条

1	学身;;1979年美国激光工程和应用会议报告目录选辑[J];激光与红外;1980年02期
2	学身;;1980年激光和电光系统会议报告目录选辑[J];激光与红外;1980年06期
3	郭佳梁;;塑料的强化加工法[J];今日科技;1981年06期
4	凌仰之;;奈良县产牡丹根中单萜类葡萄糖甙的存在部位[J];国外医药.植物药分册;1981年05期
5	纪钟;全国激光应用推广交流会在重庆召开[J];中国激光;1982年03期
6	苏宝嫆,王哲恩,罗乃草,胡文富,奚全新;用于激光加工的金属表面涂层的研究[J];中国激光;1982年08期
7	何风宝;薄平行平面镜的双面同时加工法[J];光学技术;1982年01期
8	王森山;中等偏高精度直角棱镜加工法[J];光学技术;1983年02期
9	;激光工业应用技术交流会资料简介[J];激光与红外;1983年01期
10	黄史坚;;国外激光技术在电子工业加工中的应用[J];激光与红外;1983年02期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	安建祝;滕亚钢;肖小平;;激光加工石油筛管工艺[A];中国工程物理研究院科技年报（1998）[C];1998年
2	李彦文;滕亚钢;柳进转;;钢壳体外表面激光刻槽工艺[A];中国工程物理研究院科技年报（1998）[C];1998年
3	狄锦如;;电火花精密加工技术[A];第五届全国电加工学术年会论文集（电火花成型加工篇）[C];1986年
4	俞斌伟;;单叶双曲线切割加工[A];第五届全国电加工学术年会论文集（线切割加工篇）[C];1986年
5	陈传梁;;大功率CO_2激光切割技术的发展[A];第五届全国电加工学术年会论文集（特种加工篇与综合性论文篇）[C];1986年
6	张梓华;;金属的激光切割精度与断口质量形成分析[A];第五届全国电加工学术年会论文集（特种加工篇与综合性论文篇）[C];1986年
7	周锦进;赵福令;亢羽;;激光加工表面层特性的试验研究[A];第五届全国电加工学术年会论文集（特种加工篇与综合性论文篇）[C];1986年
8	陈传梁;;我国激光加工及超声加工的发展状况及其对策[A];第六届全国电加工学术年会论文集[C];1989年
9	周锦进;王续跃;胡明文;徐中耀;;激光束能量时空特性的试验研究[A];第六届全国电加工学术年会论文集[C];1989年
10	周昌炽;;激光表面优化处理[A];第六届全国电加工学术年会论文集[C];1989年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	陈继民;大功率CO_2激光三维智能加工CAM的研究[D];北京工业大学;2001年
2	刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
3	倪晓昌;飞秒激光微精细加工理论与实验研究[D];天津大学;2004年
4	王云山;激光转镜宽带扫描热过程研究[D];天津工业大学;2004年
5	欧群飞;高功率二极管抽运固体激光器的热效应分析[D];四川大学;2005年
6	熊智文;高功率横流CO_2激光器虚拟样机的研究[D];武汉理工大学;2005年
7	李劲东;硅钢片降低铁损的激光加工研究[D];清华大学;1992年
8	陈虹;激光光束质量对光束传输聚焦和加工质量的影响[D];北京工业大学;2006年
9	黄辉;基于磁性微球的PMMA微流控免疫分析芯片系统的研究[D];重庆大学;2006年
10	张永强;激光切割质量同轴视觉检测与控制的研究[D];清华大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李晓光;激光加工的仿真[D];大连理工大学;2000年
2	王震;聚羟基烷酸酯（PHAs）降解性机理的研究[D];西北大学;2001年
3	马洪斌;木材SLS加工机理和木制品RPM制造理论研究[D];东北林业大学;2002年
4	何忠蛟;用于激光加工中调Q Nd:YAG激光器研究[D];浙江大学;2003年
5	黄敏;飞秒激光脉冲展宽技术的研究[D];北京工业大学;2003年
6	张阔海;大功率Nd：YAG激光束光纤耦合技术研究[D];北京工业大学;2003年
7	王颖娜;面向激光加工的六轴机器人离线编程研究[D];北京工业大学;2003年
8	闫钧;模具钢激光表面热处理的实验研究[D];华侨大学;2003年
9	刘常乐;载气式激光熔覆送粉器的研制[D];天津工业大学;2003年
10	张小川;激光加工数据库查询系统的开发[D];大连铁道学院;2002年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	本报记者方佛平实习生方卫胜;呼吁在合肥创建“世纪光谷”[N];安徽日报;2000年
2	赵成新李苗;小小黄花菜长成“摇钱树”[N];湖南日报;2000年
3	李德智李涛;辣椒系列食品加工法[N];河南科技报;2000年
4	赛德投资咨询俞力;希冀新股板块[N];解放日报;2000年
5	邓厚群;蚯蚓的分离收取与加工[N];江苏科技报;2000年
6	记者张兆军;中国长春光电子产业园成立[N];科技日报;2000年
7	;我国激光产业发展现状[N];科学时报;2000年
8	胡建国冯小雨张华;买卖专利致了富知识产权成市场[N];农民日报;2000年
9	本报记者周爱国曹纯海通讯员杨冬冯书云;中国激光巨人[N];亚太经济时报;2000年
10	闵飞;激光产业前景诱人[N];中国冶金报;2001年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南