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表面微构造硅的热传导性质

刘淑颖  陈晓  刘洋  朱京涛  赵利  
【摘要】:超短脉冲激光在一定的气体氛围下作用硅表面,在硅表面产生准规则排列的微米量级锥形尖峰结构。经过表面微构造的硅材料,光吸收效率显著提高,在人眼看起来为黑色,俗称“黑硅”。这种材料具有奇特的光学性质,如:对近紫外至中红外波段的光具有超过80%的吸收等,使这种微构造硅在光通讯、高效硅光电池、全波段探测器、激光功率计等器件制备上具有潜在应用。该种新材料的热学性质研究对材料将来走向应用具有重要的参考价值。

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