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磁控溅射制备梯度折射率硅氧化物材料光学薄膜

宋秋明  黄烽  李明  谢斌  王海千  
【摘要】:硅氧化物SiOx(0≤X≤2)具有良好的电学和光学特性,特别是Si与SiO在红外光学波段有良好的光学透过率,所以它们又广泛应用于天文和军事等红外光学领域。梯度折射率材料对于设计制备特殊的光学多层膜器件rugate filter相当重要,目前用SiOx作为梯度折射率材料的报道并不多见。

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