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离子束溅射制备Pick-off反射镜

刘洪祥  熊胜明  张云洞  
【摘要】:在激光核聚变系统中,高损伤阈值pick—off反射镜的制备一直被人们所关注。真空中有机材料的放气,造成pick—off反射镜表面的污染,反射镜从大气到真空的循环使用,也将带来膜层应力的变化。传统电子束蒸发制备的pick—off反射镜膜层结构疏松、缺陷较多,镜面易于污染,导致pick-off反射镜的损伤阈值大大降低。离子束溅射沉积的薄膜结构致密、缺陷少,具有非常高的环境稳定性,是制备pick-off反射镜的优选方法。

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