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DLC薄膜作为红外窗口材料保护增透膜的实验研究

白婷  叶景峰  刘晶儒  王晟  叶锡生  王立君  
【摘要】:红外窗口是激光、红外测试系统中的关键部件,不仅要求材料具有较好的光学性能,而且具备良好的热力学能力。一般的红外材料中或者光学性能较好(ZnS、ZnSe等)而热力学性能较差,或者热力学性能较好(Si、Ge等),但是光学透过性能较差。类金刚石(Diamond like carbon,DLC)薄膜具有高硬度、耐冲击、耐辐射、耐磨、耐腐蚀、化学性质稳定、从可见至远红外几乎全波段光学透明等优点。可以通过在表面镀制DLC薄膜的方法改善红外窗口的热力学和光学性能。

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