对称变形场的单光束电子散斑干涉二维检测技术

【摘要】：物体位移场的测量在工程、科研等领域有广泛应用。电子散斑干涉技术可以精确测量物体的变形场,具有精度高、非接触、对隔震要求低等优点,受到人们的重视,被应用于物体的静、动态测量。典型的单光束照明电子散斑干涉技术测量的是物体变形的混合场或者是一维位移分量。若入射物体表面照明光束的入射角是θ,则测量得到的相位场为: 当照明光束垂直物体表面照明时,即入射角θ为0,测量得到的只是离面位移场。为了测量物体变形的其他分量,需采用对称照明和多光束照明的方式。