小磨具加工对光学元件表面频率分布的影响
【摘要】:正在精密光学系统中大口径非球面光学元件的中高频误差对能量集中度影响很大,需要对元件表面的频率进行评价和限制。不同的加工工具和加工方法对镜面中高频误差的形成和收敛差别很大。研究加工工具及其运动方式对镜面表面的误差频率的影响可以为进一步完善大口径非球面镜面加工工艺提供理论基础。波前功率谱密度(PSD)是一种描述波前信息的新方法,具有定量化的频率描述功能,能提供丰富的波前误差频率信息,故可以从频域角度来评价光学元件的质量,因此采用波前PSD作为指标来评价采
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