【摘要】：针对光学非球面零部件及其模芯加工精度很难保证的问题,研究影响形状精度和表面粗糙度的切削和磨削方法及工艺。首先,分别在超精密车和精密磨床上对轴对称非球面单晶锗和非轴对称非球面注塑模芯进行超精密加工试验,然后检测形状精度和表面粗糙度,最后分析影响加工精度的因数及提高加工加工精度的工艺方法。结果表明,在轴对称非球面的单点金刚石切削加工中虽然刀具的磨损、控制点的位置飘移等会带来加工误差,但通过误差补偿可以进一步提供加工精度,满足光学性能的要求。在非轴对称非球面的金刚石砂轮成型磨削加工中,研究行走路线对加工光滑曲面的成型加工的影响和自由曲面面面形误差的检测和评价方法,结果表明CNC金刚石砂轮成型磨削可以加工硬质模具钢,用于精密注塑成型加工。