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四极照明光刻成像质量仿真研究

张飞  李艳秋  
【摘要】:本文使用PROLITH、ProDATA、ProLE仿真软件,采用ArF激光器(波长=193nm)光源,针对100nm密集、半密集和孤立三种线条,对四极照明(QUASAR)方式下,各种光学参数配置在空气中成像所能获得焦深进行了仿真分析。根据仿真的结果给出了优化配置参数的范围,比较了三种线条曝光时的光学成像质量。分析了优化配置参数条件下,波前误差对光学焦深、焦点偏移(focusshift)、图像位置误差(imageplacementerror)的影响情况,仿真的结果可以为优化光学参数配置、公差分配提供参考依据。

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